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本標準規(guī)定了氨的技術要求,試驗方法,檢驗規(guī)則及產(chǎn)品的包裝、標志、運輸、貯存及安全要求。 本標準適用于半導體工業(yè),氮化硅、氮化鎵的化學氣相淀積,也可用于硅或氧化硅的氮化。