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本標準規(guī)定了氬的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。 本標準適用于以深冷法從空氣、合成氨尾氣中提取的液態(tài)和氣態(tài)氬以及經(jīng)純化方法得到的氬。 氬用于系統(tǒng)的吹掃、保護和增壓,它還可以用于化學汽相淀積、濺射、等離子及活性離子刻蝕劑和退火等不同工藝中。