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電子工業(yè)用氣體 硅烷SiH4

標 準 號： GB/T 15909-2009
替代情況： 替代 GB/T 15909-1995
發(fā)布單位： 國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局、國家標準化管理委員會
起草單位： 浙江大學(xué)材化學(xué)院半導(dǎo)體材料研究所、西南化工研究設(shè)計院
發(fā)布日期： 2009-10-30
實施日期： 2010-05-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2010年04月21日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了硅烷氣體的技術(shù)要求、試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。
本標準適用于電子工業(yè)中多晶硅和單晶硅外延淀積、二氧化硅的低溫化學(xué)汽相淀積、非晶硅薄膜淀積等。

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