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多晶硅工廠設計規(guī)范
標 準 號:
GB 51034-2014
替代情況:
發(fā)布單位:
中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部
起草單位:
中國有色金屬工業(yè)協(xié)會
發(fā)布日期:
2014-08-27
實施日期:
2015-05-01
點 擊 數(shù):
更新日期:
2016年08月09日
內容摘要
本規(guī)范適用于采用三氯氫硅氫還原法的新建、擴建和改建多晶硅工廠的工程設計,也適用于硅烷歧化法多晶硅廠中三氯氫硅合成、四氯化硅氫化和氯硅烷提純的工程設計。
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Tag:
安全標準
.
工廠
.
多晶硅
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