金屬有機(jī)化合物氣體應(yīng)用：四氟化硫
1.別名·英文名
氟化硫；Sulfur tetrafluoride、Sulfur fluoride．
2.用途
電子氣、化學(xué)氣相淀積、氟化劑、表面處理劑、等離子干刻。
3.制法
2F2+S→SF4
4.理化性質(zhì)
分子量： 108.058
熔點(diǎn)： -121.5℃
沸點(diǎn)(101.325kPa)： -40.4℃
液體密度(-40.4℃，101.325kPa)：1816kg/m3
(-80℃，S.P.)： 1940.6kg/m3
氣體密度(20℃，101.325kPa)：4.558kg/m3
相對密度(氣體，空氣=1，20℃，101.325kPa)：3.783
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2247m3/kg
臨界溫度： 90.9℃
臨界壓力： 6342.9kPa
氣化熱(-40.4℃，101.325kPa)： 200.72 kJ/kg
比熱容(氣體，25℃)： Cp=707.57 J/(kg·k)
蒸氣壓(-100℃)： 0.9kPa
(-60℃)： 32kPa
(21.1℃)： 1067
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