本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了利用氦質(zhì)譜法和升壓法對真空系統(tǒng)的漏率進(jìn)行測試的測試原理、儀器與設(shè)備、測試條件、測試程序、漏率測試中斷處理、測試記錄與測試報告。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于真空系統(tǒng)(以下簡稱被檢件)的漏率測試。