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更新時間: 2014年03月25日 |
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通過對多晶硅生產過程中的主要危險品氫氣、液氯、氯化氫和三氯氫硅的理化性質分析以及主要生產工藝過程的火災危險性分析,提出多晶硅生產過程中應注意的消防安全技術措施。 |