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特種氣體輸送系統(tǒng)安全運(yùn)行探討

文檔作者：楊敏杰文檔來(lái)源：深圳方正微電子有限公司		點(diǎn) 擊數(shù)：	更新時(shí)間： 2015年04月27日
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論述了特氣的性質(zhì)及分類，對(duì)特氣輸送系統(tǒng)的主要構(gòu)成單元：尾氣處理器、特氣氣柜／氣架、特氣分配箱／分配盤(pán)、輸送管線和特氣監(jiān)控／偵測(cè)系統(tǒng)的功能和用途進(jìn)行了介紹，為避免特氣輸送系統(tǒng)出現(xiàn)泄漏，對(duì)特氣系統(tǒng)日常安全運(yùn)行管理和特氣泄漏應(yīng)急處理提出了建議。